對于薄膜沉積控制儀的檢查與維修不是簡簡單單馬馬虎虎就可以完成的，下面來看下
薄膜沉積控制儀的檢修要求：
(1)操縱臺(tái)上的所有操縱按鈕、主令開關(guān)的手柄、信號(hào)燈及儀表護(hù)罩都應(yīng)保持清潔完好。
(2)檢查接觸器、繼電器等電器的觸頭系統(tǒng)吸合是否良好，有無噪聲、卡住或遲滯現(xiàn)象；觸頭接觸面有無燒蝕、毛刺或穴坑；電磁線圈是否過熱；各種彈簧彈力是否適當(dāng)；滅弧裝置是否完好無損等。
(3)試驗(yàn)位置開關(guān)能否起位置保護(hù)作用。
(4)檢查各電器的操動(dòng)機(jī)構(gòu)是否靈活可靠，有關(guān)整定值是否符合要求。
(5)檢查各線路接頭與端子板的連接是否牢靠，各部件之間的連接導(dǎo)線、電纜或保護(hù)導(dǎo)線的軟管不得被冷卻液、油污等腐蝕，管接頭處不得產(chǎn)生脫落或散頭等現(xiàn)象。
(6)檢查電氣柜及導(dǎo)線通道的散熱情況是否良好。
(7)檢查各類指示信號(hào)裝置和照明裝置是否完好。
以上是關(guān)于薄膜沉積控制儀的維修方式介紹。
